工具电极常用导电性良好

熔点较高、易加工的耐电蚀材料，如铜、石墨、铜钨合金和钼等。在精密放电加工过程中，工具电极也有损耗，但小于工件金属的蚀除量，甚至接近于无损耗。

工作液作为放电介质，在加工过程中还起着冷却、排屑等作用。精密放电加工中常用的工作液是粘度较低、闪点较高、性能稳定的介质，如煤油、去离子水和乳化液等。利用金属丝或成形导电磨轮作工具电极，进行小孔磨削或成形磨削的电火花磨削；用于加工螺纹环规、螺纹塞规、齿轮等的电火花共轭回转加工；小孔加工、刻印、表面合金化、表面强化等其他种类的加工。